首先是要求扩散泵油的分子量要大，这样是为了降低泵的极限压力；其次要求扩散泵油在常温下得饱和蒸汽压要低，则为了使泵能在较高的出口压力下工作；再则就是要求扩散泵油在沸腾温度下得饱和蒸汽压应尽可能大，扩散泵油的热稳定性(高温下不易分解)和抗氧化性能(与大气接触时不会因氧化改变扩散泵油的性能)要好；凝固点和低温黏度要低；还有其他的要求、耐腐蚀、成本低等。

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